Entegris宣布推出更高純度的氣體純化系統平台
Entegris宣布推出更高純度的氣體純化系統平台
2017/02/21-尤嘉禾
位居微電子產業全球領導地位之特用化學品與先進材料解決方案供應商Entegris, Inc.(NASDAQ：ENTG)宣布將推出新的先進氣體純化平台，有效改善半導體與LED應用的晶圓良率。
新推出的GateKeeper氣體純化系統(GPS)系列，採用了新的純化媒介，能以各種流率提供同級最佳的氣體純化，同時縮小設備的佔地空間。為了滿足南韓需求量的擴大，Entegris現在將GateKeeper GPS系統的生產據點同時設在北美洲及亞洲。
Entegris污染防治部資深副總裁Clint Haris表示：「我們的客戶目前正面臨空前的污染防治挑戰，為的就是以更高效率生產出現今複雜度持續提升的頂尖裝置。最新的Gatekeeper GPS系統系列提供了先進的解決方案，能將相關環境裡的良率提升到最高。在全新技術引進的同時，本公司將繼續在北美洲和亞洲的廠房投資，擴展我們在全球層次的服務與製造能力。」
高階節點的半導體流程及LED製造需求，均需要更高更優越的純度，以去除製程氣體內造成瑕疵的的污染物。GateKeeper GPS系統系列有效去除氣流內的各種污染物，粒子可小到一兆分之一米等級，而且還能設定成各種流速。
純化的氣體包括CDA、N2、H2，用於EUV 的H2、Ar、NH3。此外，製造商也爭相尋找著大幅減少晶圓廠佔地空間的有利工具。一旦節省了佔地面積，客戶就有餘力調整珍貴的晶圓廠房樓面空間，適度運用在其他的工具需求，或是擴建系統以提高純化容量。
氣體純化產品管理部主管Jordan Ruple表示：「我們與客戶密切合作，釐清他們的純化需求，以滿足其去除新污染物的需要，同時提高對於已知污染物的靈敏度。能夠率先推出新系統，達到出色的純化等級，且能設定各種氣體與流速，體積又如此小巧，本公司至感榮幸。」
關於 Entegris
Entegris為微電子產業與其他高科技產業中位居全球領導地位之特用化學品與先進材料解決方案供應商。Entegris通過ISO -9001認證，並在美國、大陸、法國、德國、以色列、日本、馬來西亞、新加坡、南韓和台灣設有製造工廠、客戶服務中心或研究基地。
DIGITIMES中文網 原文網址: Entegris宣布推出更高純度的氣體純化系統平台 http://www.digitimes.com.tw/tw/dt/n/shwnws.asp?cnlid=13&cat=10&id=0000493727_W6Y8MOWU144ZDC8B43Y91#ixzz4ZHDLgyvf
