吉時利擴展S530參數測試系統量測能力
吉時利擴展S530參數測試系統量測能力
2012/04/06-陳萍
電子量測儀器商吉時利儀器公司持續強化S530參數測試系統，在最新版本吉時利測試環境軟體(KTE V5.4)的支援下，S530目前可被配置為48 pin 完整的Kelvin開關與搭配最新選項以提供脈衝產生器、頻率量測和低電壓量測，提供一個高速且具成本效益的解決方案來因應更寬廣的產品參數測試應用。
S530低電流系統採用高性能開關矩陣來傳輸儀器與測試探針之間的信號，提供sub-picoamp等級量測解析度和低電流防漏機制從頭到尾的全程監視。
全新的高速、高解析度示波器選項支援環形振盪器進行寬廣頻率量測範圍的測試。此新系統選項具備高達每秒400千兆樣本的取樣率，能提供大約10kHz至20MHz的量測。隨著愈來愈多積體電路將嵌入式記憶體納入設計中，半導體晶圓廠也漸漸將記憶體結構和其量測增加於製程監控行程中。測試這些元件需要輸出使用者所定義的電壓脈衝來進行記憶單元的編寫和消除動作，再進行元件精確的直流量測。S530採用目前承載電容-電壓(C-V)儀器卡相同的次系統機櫃，來配置兩個、四個或六個通道的脈衝產生器容量，如此它就可產生多樣的元件測試波形，並擴展系統的靈活性。
將范德堡(Van der Pauw)測試和金屬結構測試作為製程監控一部分，需要結合低電壓量測、高量測解析度，和優異的重複性。為因應這些應用，S530系統現在特別針對低電壓量測推出7位半低雜訊數位多功能電錶之選項。它在最低檔位(100mV)提供10nV解析度和次低檔位(1V)的100nV解析度，另也提供7ppm直流電壓重複性能。目前有 S530低電流系統及S530高電壓系統可供選擇
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